[工學기술] 리소그래피lithography5
페이지 정보
작성일 20-03-22 11:45본문
Download : [공학기술] 리소그래피lithography5.hwp
특별히 미세 패턴을 형성하는 리소그래피의 경우 접두어 micro를 붙여 microlithography라 부른다.
이해원교수, 세계 최고속 원자힘 현미경 개발
고속…(drop)
[工學기술] 리소그래피lithography5
[工學기술] 리소그래피lithography5
[공학기술] 리소그래피lithography5 , [공학기술] 리소그래피lithography5공학기술레포트 , 공학기술 리소그래피lithography
Download : [공학기술] 리소그래피lithography5.hwp( 74 )
설명
다.레포트/공학기술
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_01.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_01.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_02.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_02.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_03.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_03.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_04.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_04.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_05.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_05.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_06.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_06.gif)
순서
공학기술,리소그래피lithography,공학기술,레포트
리소그래피(lithography)
리소그래피(lithography)란 마스크라 불리우는 미리 작성된 원본의 패턴을 작업물 위에 사진 전사하는 것을 의미한다.
이러한 리소그래피의 용도 중 가장 대표적인 것으로 반도체 집적회로 제작을 들 수 있따 즉, 전자빔 주사장치를 써서 유리 기판 위에 코팅된 크롬막을 선택적으로 제거하여 마스크를 만들고, 렌즈계를 사용하여 마스크 패턴을 웨이퍼 위에 축소 투영함으로써 회로 형태를 얻는 방법이다.